Хвосты зон в гауссовой форме

Здесь Ф , Wk w. k — интегральная интенсивность, полуширина (ширина на половине максимальной интенсивности) и положение центра тяжести к-го рентгеновского пика соответственно. Параметр Tj соответствует относительной доле лоренцевой и гауссовой компонент в форме профиля рентгеновского пика. Если т] — 1, форма профиля описывается только функцией Лоренца (длинные хвосты) если г = 0, — то только функцией Гаусса (короткие хвосты). [c.34]

Ионная имплантация — это метод введения примесей в кремний или двуокись кремния. Исходные данные для процесса ионной имплантации в программе FEDSS могут вводиться двумя способами. Один из них заключается в задании энергии и дозы. Далее программа с помош >ю специальных таблиц рассчитывает параметры соответствующего распределения. Другой способ заключается в задании параметров распределения и дозы. В программе предусмотрено использование распределения Гаусса, несимметричного распределения, строящегося с помош >ю сшивки двух распределений Гаусса [11.7], распределения Пирсона IV. Кроме того, предусмотрена возможность использования нового распределения, заданного пользователем, а также распределения Гаусса с параметрами, характеризующими рассеяние ионов в боковом направлении. Приближенным профилем концентрации для таких элементов, как мышьяк или фосфор, является профиль, построенный путем сшивки двух распределений Гаусса профиль концентрации для бора строится с помощью модифицированного распределения Пирсона IV. Ионы легирующей примеси могут быть локально имплантированы через окно маски. Программа позволяет учитывать влияние формы края маски и самой маски. Край маски может быть вертикальным или иметь произвольную форму. При необходимости к распределению может присоединяться экспоненциальный хвост . [c.308]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...