Бахур

Шлюзовые системы указанного типа находят широкое применение для нанесения тонких пленок термическим и катодным распылением. В литературе имеются патенты и авторские свидетельства, в которых предложены те или иные варианты шлюзовых систем. Так, П. И. Бахур и Ю. А. Екимов [8] предлагают загрузочный механизм выполнять в виде ротора с расположенными по окружности гнездами для загрузки изделий. Авторы изобретения [И] для увеличения герметичности уплотнения поворотного шлюзового ротора предлагают выполнять его из самосмазываю-щегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями, заполненными материалом типа вакуумной резины. Для обеспечения надежной работы шлюзового устройства А. Ю. Абеле [2] предлагает изготовлять затвор из эластичного материала в виде чулкообразной диафрагмы и укреплять его герметично по периметру корпуса в местах фланцевого соединения с вакуумной камерой. При этом полость, образованная корпусом и затвором, соединена с пневмосистемой, а затвор зажат в крайних точках горизонтального диаметра зажимами, связанными с рычажной системой, имеющей общий привод с пневмосистемой. [c.225]

Ю. А. Екимов и П. И. Бахур [34 ] предлагают шлюзовое устройство, в корпусе которого смонтированы шлюзовые ролики. Для регулирования силы прижатия роликов (в зависимости от толщины пропускаемого материала) они выполнены в виде вала с оболочкой из эластичного материала, которая находится от поверхности вала на расстоянии, не меньшем толщины пропускаемого материала. Для уменьшения натекания газа рекомендуют приводные роликовые шлюзы монтировать в пазах корпусных пластин камер, причем, один из роликов состоит из набора тел вращения, а другой, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплот-ным выводом, связанным с приводом [1]. Т. А. Силис[100] предлагает загрузочный механизм шлюзового устройства выполнять в виде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки. [c.228]

Кроме уже упомянутого выдающегося мастера-станкостроителя Андрея Нартова, успешно работал в области станкостроения изобретатель солдат Яков Батищев, который построил 12- и 24-шпиндельные станки для обработки ружейных стволов. Такие русские самоучки-механики, как Лев Соба-кин, Алексей Сурнин, Яков Леонтьев, Степан Трегубов, Никита Бахурев, Павел Захава и многие другие, обогатили технику того времени новыми типами станков. [c.6]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...