Пассивирующие слои полупроводниковые свойств

Согласно теории электронных конфигураций возникновение пассивного состояния — результат неукомплектованности электронами внутренних оболочек металлов, имеющих незаполненные -уровни. Установлено, что способность окисного слоя пассивировать металлы зависит от его полупроводниковых свойств. [c.146]

Другая серия статей посвящена физическим и электрохимическим методам исследований окисных слоев, возникающих на поверхности металла. Сюда следует отнести разработанный нами совместно с Е. К. Оше фотоэлектрический метод исследования окисных слоев в электролитах, позволяющий определить характер и степень отклонения от стехиометрии поверхностных окислов на металле и проследить за существующей связью между полупроводниковыми свойствами, окислов и их способностью пассивировать металлы. Работы Е. Н. Палеолог с сотрудниками посвящены применению импульсных методов поляризации для изучения электрохимических реакций, протекающих на окислах и окисленной поверхности. [c.4]

В настоящее время в полупроводниковой технологии широкое распространение получил способ вырапщвания 8102 в присутствии в окисляющей среде малых добавок хлорсодержащих газов. В основном это обусловлено улучшением электрических и пассивирующих свойств получаемых таким способом оксидных слоев, а также возможностью оказывать сильное воздействие на объемные свойства кремния. Некоторые общие аспекты получения хлорированных окислов и их применение в технологии СБИС кратко рассматриваются в разд. 3.2. [c.78]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...