Многолучевая интерференция в пластине и клине

МНОГОЛУЧЕВАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ В ПЛАСТИНЕ И КЛИНЕ [c.164]

МНОГОЛУЧЕВАЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ В ПЛАСТИНЕ И КЛИНЕ ]67 После преобразований получим [c.167]

Принципиальная схема многолучевого интерферометра для исследования неровностей поверхности приведена на рис. 132 [281. Основной частью интерференционной схемы являются пластина 4, Покрытая с нижней стороны полупрозрачным отражающим слоем, и испытуемая поверхность 5. Коэффициенты отражения пластины и испытуемой поверхности обычно подбирают близкими по значению. Между зеркальной пластиной и образцом возникает интерференция многократно отраженных лучей. Интерференционная картина, локализованная на поверхности пластины, рассматривается через микроскоп 1, 2, 3 с увеличением 100><. С помощью принципиальной схемы, изображенной на рис. 132, можно наблюдать интерференцию как в клинообразной, так и плоскоггараллельиой пластине в первом случае эго будут полосы равной толщины. Наряду с полосами равной толщины используются полосы равного наклона, которые позволяют исследовать не только форму плоской поверхности, но и контролировать плоскопараллельность, определяя при этом не только угол клина, но и знак изменения толщины. [c.221]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...