ТАНТАЛОВЫЕ Упругость пара и скорость испарения

Семилетов и Воронина [58] провели широкое исследование роста эпитаксиальных пленок PbSe и РЬТе на различных подложках. Ими были использованы графитовый и танталовый испарители. Исходный материал PbSe содержал до 0,5 вес.% избыточного (сверхстехиометрического) селена либо до 2 вес.% избыточного свинца. Теллурид свинца имел почти стехиометрический состав или содержал сверх стехиометрии до 0,1 вес.% свинца. При этом никаких выводов о влиянии состава исходного вещества на свойства пленок, а также о конструкции подогревателя подложек сделано не было. Температура подложки менялась от комнатной до 550°С. Возможно, речь идет о температуре нагревателя подложки, которая, естественно, выше температуры поверхности подложки. Можно оценить уменьшение толщины пленки за счет процесса вторичного испарения слоя с нагретой подложки, используя приведенные в табл. 5.2 упругости паров и полагая коэффициент прилипания равным единице. Скорость изменения толщины равна [c.337]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...