ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА РЕНТГЕНОВСКИХ ЗЕРКАЛ

ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА РЕНТГЕНОВСКИХ ЗЕРКАЛ [c.215]

После рассмотрения различных методов измерения шероховатости сверхгладких поверхностей возникает вопрос о том, какой же метод следует предпочесть для оценки качества поверхности рентгеновских зеркал. Каждый из рассмотренных методов и приборов имеет свои недостатки и достоинства. Совокупность таких требований, как предельная чувствительность, простота реализации, возможность неразрушающего контроля, минимизация времени измерения и т. п., оказывается противоречивой. Понятно, что самую полную информацию о поверхности рентгеновского зеркала дает метод измерения индикатрисы рассеяния той энергии, где предполагается использование зеркала. Однако отсутствие выпускаемых промышленностью приборов такого типа и их достаточно высокая сложность практически исключают возможность использования их как средства контроля технологии изготовления зеркальной рентгеновской оптики. Проведенный обзор и анализ методов показывает, что в качестве приборов для контроля готовых образцов рентгеновских зеркал можно рекомендовать щуповой профилометр, прибор для измерения TIS и метод реплик в просвечивающей электронной микроскопии. Вторая группа приборов, имеющих самостоятельное значение, — приборы для контроля качества рентгеновской оптики в процессе ее изготовления. Наиболее удобен для этой цели дифференциальный интерференционный микроскоп Номарского при условии его достаточной калибровки (в некоторых случаях можно использовать щуповой профилометр). [c.244]

Рассмотрим требования, которым должны удовлетворять точность формы и качество поверхности рентгеновских зеркал, а также современные методы их изготовления и контроля. Это касается в основном зеркал скользящего падения, для которых отличия от традиционной оптической технологии наиболее существенны. В главе приведен подробный обзор методов и аппаратуры для измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей, что имеет принципиальное значение для всей зеркальной рентгеновской оптики. Специальным вопросам технологии и метрологии зеркал нормального падения, связанным главным образом с нанесением многослойных покрытий, посвящена статья Т. Барби (см. Приложение III). [c.215]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...