Чертежи полупроводниковых интегральных микросхем

Чертежи полупроводниковых интегральных микросхем [c.537]

Топологические чертежи полупроводниковых интегральных микросхем. [c.307]

Разработка и оформление чертежей на полупроводниковую микросхему тесно связаны с технологией ее изготовления, которая заключается в следующем. Элементы микросхемы (диоды, транзисторы, резисторы, конденсаторы) и их соединения создаются в объеме и на поверхности полупроводниковой пластины (подложки). На рис. 9.1 показана последовательность основных технологических операций изготовления полупроводниковой интегральной микросхемы на биполярных транзисторах, получаемых по планарно-эпитаксиальной технологии. Они включают [c.302]

Задание по автоматизированному выполнению чертежей интегральных полупроводниковых микросхем включает разработку [c.573]

При разработке конструкторской документации интегральных полупроводниковых микросхем также выполняют чертежи отдельных слоев, по которым изготовляют фотошаблоны большой точности. По этому такие чертежи выполняют в масштабах не менее 200 1. [c.320]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...