Автоматическая линия диффузии

Для производства изделий микроэлектроники на базе свыше сорока моделей точных специализированных роботов [30] разработаны и внедрены в промышленность автоматические линии операций диффузии, окисления, очистки и др. [c.178]

Автоматическая поточная линия диффузии (рис. 7.10). Эта линия предназначена для групповой обработки полупроводниковых пластин диаметром 76—100 мм на операциях диффузии и окисления и [c.233]

При введении преобразования Крокко для уравнений пограничного слоя (см. Шлихтинг [1968]) скорость становится неза-висимой переменной. Креншоу [1966] рассчитывал течения со свободным сдвиговым слоем при помоши приближения пограничного слоя (пренебрегая диффузией в направлении потока) он использовал координату по нормали не к линии тока, а к импульсной координате, т. е. рассматривал количество движения как независимую переменную. Поскольку количество движения является ограниченной функцией течения, конечно-разностная сетка выстраивается автоматически в процессе построения поля течения (см. также Креншоу и Хаббарт [1969]). [c.442]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...