Эллипсометрия лазерная

Электронно-лучевые трубки (ЭЛТ) 30 Электронно-оптические преобразователи 361 — Характеристики 362 Электрорадиография 266, 342—345 — Способы проявления пластин 345 — Технические характеристики аппаратов 343, Пластин 343, проявителей 344 Электротермометр 125 Эллипсометрия лазерная 66, 67 Эмульгируемость 159 Эмульсия фотографическая 313 Эндоскопы волоконно-линзовые 87 — Технические характеристики 88, 89 [c.487]

Лазерная эллипсометрия основана на анализе изменений состояния поляризации света, отраленного от поверхности изделия. Метод позволяет пнтролировать с высокой точностью юлщнны (10 —2-10" мм) и показатели преломления (до 10" ). Применение лазеров позволило резко поднять чувствительность и информативность эллипсометрического метода, так как они определяются главным образом монохроматичностью и степенью направленности источника излучения. [c.66]

Метод лазерной эллилсометрии получает все большее распространение. К его достоинствам можно отнести бес-контактность, чувствительность, возможность анализа образцов, находящихся Б агрессивных средах или в вакууме, при высоких температурах. Лазерная эллипсометрия успешно применяется в электронике для контроля [c.67]

Возросший интерес к поляризационным методам исследования выдвигает повышенные требования к их точности, быстродействию и наглядности отображения информации. В связи с этим в последнее время отдается предпочтение разработке автоматических систем, обеспечивающих большую чувствительность измерений благодаря применению различной модуляционной техники, например ячеек Фарадея [253] и Керра [240], позволяющих дополнительно поворачивать плоскость поляризации на несколько градусов. При этом параметры эллипса поляризации наблюдаются непосредственно на экране ЭЛТ или записываются на ленту самописца или магнитную пленку для дальнейшей обработки. Следует отметить, что современные отечественные и зарубежные, ручные и автоматические эллиисометры основаны на классических принципах исследования поляризации света. Однако имеются сведения о возможности построения лазерных эллипсометров, основанных на принципе интерференции света [45, 102, 197]. [c.202]

В последние годы в связи с широким использованием кольцевых резонаторов возникла острая необходимость в контроле параметров их элементов, таких, как параллельность граней и толщина четвертьволновых пластин, однородность фазовых невзаимных элементов, однородность коэффициента отражения зеркал и т. д. На рис. 126 приведена оптическая схема полуавтоматического эллипсометра для измерения поляризационных свойств (эллиптичности и поворота плоскости поляризации) фазовых невзаимных элементов, используемых в лазерных гироскопах. Свет от лазера ЛГ-126, отразившись от зеркал 10 и пройдя через поляризатор 2, линейно поляризуется. После прохождения через фазовый невзаимный элемент (ФНЭ) 3 происходит поворот плоскости поляризации и возникает эллиптичность излучения. При соответ- [c.205]

Лазерные эллипсометры, работающие по описанному выше методу, обладают достаточно высокой чувствительностью (а 0,001°) и позволяют регистрировать эллиптичность излучения, прошедшего через исследуемый образец, с точностью до 2,5-10" (по интенсивности). [c.207]

Важной задачей, простое решение которой стало возможным с привлечением техники лазерной эллипсометрии, является определение параметров окисных пленок на пластинах германия и кремния. Исследования процесса окисления пластин кремния в потоке сухого кислорода при температуре 1050° С в течение 3,5 ч показали [136], что за это время формируется слой двуокиси кремния, линейная толщина которого составляет 2400 А, а показатель преломления находится в пределах 1,44—1,45. Процесс образования окисной пленки является нелинейным, т. е. скорость увеличения толщины слоя при больших временах окисления замедляется. Эллипсометрические исследования показали [70], что в атмосфере воздуха на поверхности германия и кремния слой окисла толщиной 20 А образуется в течение нескольких секунд. [c.207]

Применение лазеров в эллипсометрах позволило получить интенсивные пучки монохроматического излучения и создало предпосылки для разработки техники эллипсометрической микроскопии [70, 122]. В настоящее время отечественной промышленностью выпускаются лазерные эллипсометрические микроскопы ЛЭМ-2 и ЛЭМ-3. Использование этих приборов дало возможность провести исследование микроструктур, имеющих линейные размеры до нескольких микрометров, и проконтролировать неоднородности как по толщине, так и по показателю преломления. Применение лазерных эллипсометрических микроскопов позволило также проводить контроль качества вскрытия окон в пленках окислов, определять загрязнения на поверхности пластин кремния и германия после физико-химической обработки, контролировать наличие и глубину нарушенного слоя после полировки и т. д. [c.207]

Рис. 7. Расчетная (а) и функциональная (б) схемы лазерного эллипсометра

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...