Приборы оптической интроскопии

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКОЙ ИНТРОСКОПИИ [c.519]

Для исследования возможностей метода оптической ИК интроскопии и для испытания прибора, реализующего этот метод, была проведена серия исследований на различных тест-объектах, а также на образцах полупроводниковых материалов германия п- и р-типа электропроводности, электронного и дырочного кремния, фосфида галлия, как нелегированного так и легированного Те, S, Mg, Be, и арсенида галлия, легированного Те до Л д = 5--ь [c.184]

Один из вариантов реализации метода ИК интроскопии заключается в просвечивании объектов исследования ИК излучением и визуализации прошедшего через объект излучения с помощью электронно-оптического преобразователя или телевизионной системы [40, 226]. Примером подобного прибора является микроскоп МИК-1, позволяющий осуществлять видение в таких полупроводниковых материалах, как Si и GaAs, выявлением дефектов в объеме полупроводника. Однако использование в качестве источника излучения широкополосных тепловых излучателей значительно ухудшает качество изображения и затрудняет количественную интерпретацию получаемой информации. [c.181]

Следующим и вместе с тем решающим звеном в общей схеме интроскопии (после выбора вида и характера проникающих излучений) являются электронные преобразователи невидимых излучений в оптически видимые изображения. В зависимости от типа проникающих излучений эти преобразователи имеют свои специфические особенности. Однако общим для всех их является наличие приемного элемента, отвечающего на энергетическую плотность распределенного в фокальной плоскости скрытого изображения электронного преобразователя и усилителя этих скрытых изображений электронно-оптического трансформатора скрытых изображений в оптически видимые изображения. В том случае, когда наблюдение необходимо вести не непосредственно V прибора, а на некотором расстоянии от него (дистанционно), в общую схему иитро-скопов включены также технические устройства телевизионного типа. [c.284]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...