Микроскоп электронный растровый электронные пушки

Диапазон требований к электронным пушкам, в зависимости от назначения, достаточно широк — от растровых электронных микроскопов [311—313], требующих хорошо сфокусированных пучков, до аппаратуры электронно-лучевой обработки [314, 315], для которых необходимы большие токи. В последнем случае используются автокатоды большой площади (более 1 см ) из пучков углеродных волокон [314] или высокопрочного графита типа МПГ-6 [315] с расположенной вблизи плоскости катода управляющей сетки с большой прозрачностью. Такая конструкция электронной пушки позволяет получить электронный пучок любой конфигурации, которая определяется формой и размером рабочей поверхности автокатода. Однако для большинства приложений электронных пушек требуется фокусировка электронного пучка. Неплохие результаты дает использование внешних электромагнитных катушек, но из-за большой скорости автоэлектронов они получаются очень громоздкими. Поэтому была предложена внутренняя однополосная система магнитной фокусировки [316], в которой магнитный полюс находится в непосредственной близости от автокатода, что позволяет наиболее эффективно изменять траекторию автокатодов. [c.244]

Рис. 3. Растровый электронный микроскоп (РЭМ) 1 — изолятор электронной пушки 2 — накаливаемый У-образный катод З — фокусирующий электрод 4 — анод 5 — ионденсорные пинзы б — диафрагма /—двухъярусная отклоняющая система 8— объектив 9 — диафрагма 10 — объект 11 —детектор вторичных эл-нов 12 — крист, спектрометр 13 — пропорциональный счётчик 14 — предварительный усилитель 25 — блок усиления 16, — аппаратура дпя регистрации рентг. излучения 18 — блок усиления 19 — блок регулировки увеличения 20, 21 — блоки горизонтальной и вертикальной развёрток 22, чевые трубки.

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...