Насосы ионно-геттерные

Вакуумная система представляет собой систему с безмасляной откачкой. Предварительное обезгаживание высоковакуумного насоса 1 (геттерно-ионного или магнитного электрораз-рядного) и вакуумной системы, а также предварительную откачку печи осу- [c.302]

Давление запуска ионно-геттерных распылительных насосов не выше 1 Па, предельное остаточное давление —10- Па. [c.370]

Для оценки несущей способности антифрикционного покрытия предлагается способ испытания скольжением сферического инден-тора с малой скоростью по металлической поверхности, покрытой твердой смазкой при постепенном увеличении нагрузки на инден-тор. Установка, использованная в исследованиях, состоит из испытательного устройства (рис. 1), вакуумной камеры и откачного высоковакуумного агрегата на основе геттерно-ионного насоса ГИН-0,5 (откачка безмасляная, предельный вакуум 10 тор). Узел нагружения состоит из четырех нагрузочных пружин 1 с [c.12]

Некоторые конструктивные элементы электронных приборов требуют подогрева во время работы. К ним относятся, например, термоэлектронные насосы, натекатели газов, геттерные и геттерно-ион-ные насосы. Принцип действия таких нагревателей заключается в том, что эмиттированные электроны ускоряются в промежутке анод—катод и при торможении в материале анода разогревают его. [c.249]

Для многих электровакуумных приборов сложной конструкции, особенно со специальным вклеиваемыми окнами, когда возможностей обычных распыляемых геттеров недостаточно, применяются встроенные миниатюрные геттерные или геттерно-ионные насосы [c.249]

В сорбционных испарительных (геттерных) В. н. поглощающая поверхность создаётся напылением химически активных металлов (Ва, Т1, гг, Та, Мо и др.). Образующиеся плёнки поглощают большинство газов, присутствующих в вакуумных системах (02> Со, СО2, пары Н2О), за счёт образования хим. соединений, хемосорбции (Н2) и растворения. Инертные газы и углеводороды практически не поглощаются, их удаляют вспомогательным пароструйным В. н. или ионной откачкой. Но полностью освободиться от углеводородов (напр., от-СН4) не удаётся, они синтезируются на поверхности плёнки поглотителя играющей роль катализатора. Это не позволяет получить р ст меньше 10 —10- мм рт. ст. Однако при напылении Т1 на охлаждаемые (ниже 77 К) поверхности не только снижается кол-во Нг и др. газов, но и прекращается образование СНл, что позволяет получить Рост 1 — 10- мм рт. ст. Такие насосы требуют Рзап 10 мм рт. ст. и в сочетанин с диффузионным или магниторазрядным В. н. создают сверхвысокий вакуум при 5 до 10 л/с. [c.65]

Рис. 10. Геттерно-ионные насосы ГИН i — центр, анод 2 — прогреваемый анод 3 — катоды 4 — прямоканапьные испарители.

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...