Основные механизмы пучкового отжига

ОСНОВНЫЕ МЕХАНИЗМЫ ПУЧКОВОГО ОТЖИГА [c.158]

ОСНОВНОЙ МЕХАНИЗМ НЕПРЕРЫВНОГО ПУЧКОВОГО ОТЖИГА [c.169]

Как уже отмечалось, основным механизмом непрерывного пучкового отжига является твердофазная эпитаксия. Наиболее убедительное подтверждение этого вывода, полученное в [5.15], иллюстрируется рис. 5.7. Здесь [c.169]

В последние годы были выполнены обширные исследования по исполЬ1- зованию лазеров, электронных пучков и импульсных источников для отжига повреждений, создаваемых в кремнии ионной имплантацией. Эта область деятельности, названная сначала пучковым отжигом из-за ее направленности на устранение дефектов, вносимых имплантацией, быстро расширилась и включает сейчас самые разнообразные приложения, многие из которых не имеют отношения к ионной имплантации и даже не связаны с устранением дефектов. В частности, лазеры и электронные пучки были использованы для рекристаллизации полученных из газовой фазы тонких пленок поликремния, что позволило значительно улучшить их электрические свойства [5.1], для формирования силицидов металлов [5.2] и для выполнения ряда других технологических операций, важность которых постоянно увеличивается в связи с производством субмикронных интегральных схем и сверхбыстродействующих приборов. В данной главе рассматриваются только процессы отжига и, прежде всего, механизмы лазерного, электронного и импульсного отжигов, а также основные металлургические и электронные свойства материалов после пучкового отжига. [c.158]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...