Проектирование промышленных вакуумных установок

При конструировании непрерывных агрегатов, особенно опытно-промышленного типа, может быть применен блочный принцип, значительно упрощающий проектирование, сборку и переоборудование агрегата (в случае необходимости). Вакуумная часть агрегата собирается из унифицированных узлов (блоков) нескольких типов, причем возможно опробование различных комбинаций, так как все блоки имеют одинаковые соединительные фланцы. Например, получение более толстых покрытий может быть достигнуто простым увеличением числа камер (блоков) нанесения, между которыми располагаются шлюзы и камеры охлаждения. Из одних и тех же блоков можно собирать как небольшие лабораторные установки для проведения исследований, так и промышленные агрегаты. [c.215]

Металлы служат основными конструктивными материалами для современных вакуумных установок. В настоящее время из металлов создаются высокопроизводительные вакуумные насосы, вакуумные печи, дистилляторы, ускорители и другие сложные промышленные установки. Благодаря большой прочности изготовленные из металлов детали вакуумных установок способны выдерживать не только значительные статические и динамические нагрузки, но и большие температурные напряжения. Однако, помимо прочности, металлы, применяемые для изготовления вакуумных установок, должны обладать еще вакуумной плотностью (герметичностью), низким газоотделением при повышенных температурах, коррозийной и химической стойкостью, способностью давать надежные вакуумно-плотные соединения при-пайке и сварке. Первым двум из этих требований удовлетворяют металлы, выплавленные в вакууме. Они содержат по сравнению с обычными металлами весьма незначительные количества газов и обладают повышенной вакуумной плотностью Металлургическая промышленность не выпускает металлы, специально предназначенные для вакуумной техники. Поэтому при проектировании и изготовлении вакуумных установок следует пользоваться ассортиментом металлов, применяющихся в обычном машиностроении, и в каждом отдельном случае выбирать наиболее подходящий конструктивный материал. [c.44]

Конструкции промышленных вакуумных установок должны в первую очередь обеспечить проведение технологических процессов, для которых создается вакуумное оборудование. Поэтому при проектировании или выборе конструкций вакуум ных установок необходимо знать основные параметры, характеризующие рабочую аппаратуру и проводимые в ней технологические процессы. К таким параметрам можно отнести размеры рабочего объема установки количество и состав паров и газов, подлежащих откачке рабочее давление, при котором должен протекать првцесс рабочие температуры, необходимые для проведения технологических процессов время проведения технологических процессов и время, необходимое для получения предельного вакуума вредное воздействие остаточных паров и газов па проводимые в аппаратуре технологические процессы. [c.94]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...