Пушки с полевой эмиссией

Рис. 127. Пушка с полевой эмиссией

Пушки с полевой эмиссией. В источниках с полевой эмиссией используется очень острая холодная вершина, за которой следует электростатическая линза (рис. 127) [222]. Вблизи вершины возникает чрезвычайно высокое электростатическое поле, следствием которого является относительно высокий (1 мА) ток эмиссии. Электроны как бы эмитируются из очень маленького виртуального источника позади вершины. Радиус виртуального источника пропорционален радиусу вершины и квадратному корню относительного разброса энергии Для радиуса вершины 0,1 мкм и относительного разброса энергии 10 радиус виртуального источника приблизительно равен 1 нм. Из-за чрезвычайно малых размеров источника и высокого тока эмиссии яркость такой пушки может быть в ты- [c.471]

Конструирование пушек с полевой эмиссией намного легче, чем термоионных пушек. Из-за очень сильного электростатического поля у вершины вблизи нее потенциал резко возрастает и спадает на расстоянии порядка нескольких радиусов вершины. Дальше поле практически равно нулю. Если пушка проектируется так, чтобы поле экранировалось отверстием в первом электроде (см. разд. 7.3.1.5), то влиянием эмиттера вообще можно пренебречь. В первом приближении можно считать, что частицы появляются из области, в которой поле отсутствует, тогда в этой пушке можно использовать любую ограниченную линзу с нулевым полем на входе. На рис. 127 показана упрощенная кубическая полиномиальная линза с единственной модификацией, состоящей в том, что электроды ограничиваются плоскими поверхностями, перпендикулярными оптической оси (область в пространстве объекта, в которой поле отсутствует, обеспечивается упомянутым выше распределением потенциала без введения дополнительных экранирующих трубок). В соответствии с этим любая ограниченная электростатическая линза может быть использована как многоэлектродная пушечная линза. За последнее время для источников с полевой эмиссией успешно применялись многоэлектродные пушечные линзы [228]. [c.472]

Более детальную информацию о пушках с полевой эмиссией можно найти в литературе [124, 153, 224, 284—288]. [c.472]

В электронной микроскопии и зондоформирующих системах в основном используются два типа эмиттеров. В связи с этим мы можем различать пушки с термоионной и полевой эмиссией. Сделаем краткий обзор их свойств. Читатель может про- [c.469]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...