Дефекты в эпитаксиальных покрытиях

Таким образом, на примерах металлических и неметаллических покрытий показано, что рост эпитаксиальных покрытий в условиях пространственного согласования позволяет сохранять монокристальность покрытия при больших толщинах, чем в покрытиях, полз чаемых в условиях пространственного несогласования. Как уже отмечалось, это обусловлено тем, что интенсивность накопления дефектов при росте кристаллов в условиях пространственного согласования существенно [c.59]

Приведенные примеры еще раз показывают, что выращивание эпитаксиальных и гетероэпитаксиальных покрытий р условиях пространственного согласовашя возможно и при весьма больших скоростях роста и в этих условиях обеспечивается относительно небольшая скорость накопления дефектов роста, что позволяет получать монокристал-лические покрытия. [c.63]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...