Пространственное распределение молекулярных потоков в структурах с сорбирующими стенками

Пространственное распределение молекулярных потоков в структурах с сорбирующими стенками [c.163]

Кроме того, ММК использовался для вычисления интегральных характеристик структур с сорбирующими тенками и их оптимизации [15, 51, 56, 59, 61, 113, 128, 135], исследований молекулярного течения в канале с движущейся стенкой и расчета характеристик турбомо-лекулярных насосов [И], молекулярного течения со значительной скоростью переноса РГ [114], оценок влияния степени диффузности молекулярного отражения стенками канала на его проводимость [78] и пространственное распределение формируемого потока [139], построения полей молекулярных концентраций и плотностей потоков в системах двух сфер, цилиндров и параллельных плоскостей [55], анализа пространственного распределенпя напыляемых в вакууме пленок [54] и решения ряда других задач вакуумной техники. [c.67]

При проектировании структур с сорбирующими стенками существенна информация двоякого рода. Во-первых, необходимо знать пространственное распределение молекулярной концентрации п т, t) и определяемой-,ею интегральной плотности б вдоль одного или нескольких выбранных направлений. Величины /гиб являются определяющими для оценки влияния остаточного газа на протекание рабочих процессов. Во-вторых, должны быть известны плотность потоков молекул, падающих на сорбирующие поверхности [9пад(г, 0] и поглощаемых ими [ 1югл(г, /)], а также поверхностная концентрация мо-лс кул, поглощенных сорбирующей поверхностью за ие- [c.163]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...