Методы и аппаратура для измерения шероховатости поверхности рентгеновских зеркал

Рассмотрим требования, которым должны удовлетворять точность формы и качество поверхности рентгеновских зеркал, а также современные методы их изготовления и контроля. Это касается в основном зеркал скользящего падения, для которых отличия от традиционной оптической технологии наиболее существенны. В главе приведен подробный обзор методов и аппаратуры для измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей, что имеет принципиальное значение для всей зеркальной рентгеновской оптики. Специальным вопросам технологии и метрологии зеркал нормального падения, связанным главным образом с нанесением многослойных покрытий, посвящена статья Т. Барби (см. Приложение III). [c.215]

Перейдем к рассмотрению наиболее важного вопроса, связанного с качеством рентгеновских зеркал — методам и аппаратуре для определения параметров шероховатости отражающих поверхностей. Как следует из анализа требований к качеству поверхности, для рентгеновских зеркал значение среднеквадратической шероховатости о, а следовательно, и чувствительность методов измерений должны лежать в интервале от нескольких нанометров до долей нанометра. Это существенно выше требований, обычно предъявляемых к оптическим элементам видимого диапазона (минимальное значение параметра в существующем стандарте составляет 25 нм) и приводит к необходимости использования аппаратуры, основанной на иных физических принципах (или к существенной модернизации этой аппаратуры). Среди наиболее часто используемых методов — контактные (щуповые) и бесконтактные (оптические), основанные на зависимости сигнала от высоты профиля локальных участков поверхности, а также методы рассеяния, дающие информацию о статистических свойствах поверхности. [c.230]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...