Подложки из кварца сапфира

Поскольку подложка влияет на распространение ПАВ, она должна быть изготовлена из материала, обладающего долговременной стабильностью, небольшим коэффициентом теплового расширения и малой температурной зависимостью скорости распространения ПАВ. К таким материалам относятся сапфир, плавленый кварц, кремний и боросиликатное стекло. В соответствии с используемым тонким пьезоэлектрическим слоем пластина должна быть соответствующим образом ориентирована. [c.530]

Металлические пленки наносили на полированные поверхности сапфира, кварца и графита испарением металла с помощью электронно-лучевого нагрева в вакууме 1 10 мм рт. ст. Источником испарения служила капля расплава, возникающая на конце вертикально расположенного стержня напыляемого металла диаметра 2—3 мм, на который фркусировался электронный луч, скорость напыления была 1—10 Kj eK. Температура подложки во время напыления составляла 100—200° С. [c.16]

Температурные характеристики существующих полупроводниковых тензорезисторов пока еще не полностью удовлетворяют требованиям, предъявляемым к ним, что следует учитывать при выборе соответствующих измерительных схем. Идентичность механических и электрических характеристик полупроводниковых тензорезисторов достигается при условии изготовления всех четырех элементов, образующих мостовую измерительную схему, в едином технологическом процессе. Тензорезисторы выращивают либо на подложке из диэлектрика типа сапфира или кварца, либо на стальной упругой подложке, изолируя полупроводники от металла с помощью диэлектрической пленки. Монтаж подложки с тензорезистором на упругом элементе силомоментного датчика осуществляется с помощью клеевого или сварного соединения. [c.30]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...