Защитные маски, получение

Защитные маски, получение 544 [c.728]

Для получения знаков и изображений в производстве шкал, лимбов и т. п., а также функциональных элементов покрытий, обладающих электрическими или магнитными свойствами, необходимо произвести маскирование сплошной поверхности заготовки или покрытия участками защитной пленки, каким-либо методом сформировать рельефные участки покрытий или элементы деталей и удалить защитную маску. [c.542]

При фокусировке аэрозольного потока с помощью износостойкого сопла диаметром 0,5 мм и при скорости потока около 300 м сек появляется возможность тонкой избирательной шлифовки при изготовлении пленочных микросхем путем удаления лишних участков пленки через защитную маску (трафарет) для получения заданного рисунка. В этом случае должны использоваться относи- [c.21]

Для создания в чистом полупроводниковом кристалле областей п- и р-типов разработан ряд методов. 1) Транзистор с вплавленным переходом получают путем расплавления нескольких микрограммов легирующего элемента (например, алюминия), на поверхности монокристалла кремния п-типа. В расплаве растворяется некоторое количество кремния, после охлажденрм образуется твердый раствор алюминия в кремнии. Аналогичную операцию повторяют на другой стороне таблетки, получают р-п-р-переход. 2) Транзистор с выращенным переходом изготавливают путем выращивания кристалла из расплава материала п-типа. 3) Третья технология основывается на использовании таблетки кремния п-типа, которая подвергается окислению с целью получения защитного покрытия из 8102. В процессе нанесения маски удаляют защитное покрытие с определенных участков таблетки, затем заготовку нагревают в присутствии паров бора. Диффузрм бора в кремний приводит к образованию области р-типа. Затем все операции - окисление, нанесение маски и нагрев - повторяют, но нагрев ведут в присутствии паров фосфора с целью получения второй области п-типа, которая служит эмиттером. Повторение всего цикла операций в третий раз необходимо для создания контактов из золота и алюминия. Такие транзисторы называют плоскостными. [c.25]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...