Электрическая проводимость в поликремниевом слое

ППЗУ с плавкими перемычками отказывают по причине зарастания . В первых ППЗУ применялись нихро-мовые перемычки, которые после расплавления должны оставаться разомкнутыми, но спустя некоторое время они восстанавливали электрическую проводимость. Разумеется, при зарастании значения хранимых бит изменяются. В последующих микросхемах ППЗУ нихромо-вые перемычки были заменены поликремниевыми, в которых при программировании образуется слой непроводящей двуокиси кремния эффект зарастания в них отсутствует. [c.64]

ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОВОДИМОСТЬ В ПОЛИКРЕМНИЕВОМ СЛОЕ [c.229]

Лазерный отжиг является перспективным средством улучшения электрических и структурных свойств поликремниевых слоев [8.26, 8.27]. Кроме того, лазерный отжиг является эффективным средством устранения дефектов, образовавшихся в результате имплантации и увеличения размеров кристаллитов. Для определения размера кристаллитов, подвижности носителей, концентрации носителей и сопротивления растекания были проведены эксперименты по лазерному отжигу поликремниевых слоев при различных мощностях лазера. Поскольку теоретическая модель механизма роста кристаллита в результате лазерного отжига чрезвычайно сложна, использовалась простая эмпирическая модель зависимости размера кристаллита от мощности лазера. На рис. 8.15 показана зависимость размера кристаллита в поликремниевом слое толщиной 0,5 мкм, осажденном из газовой фазы при низком давлении на 1-мкм слой термического окисла, от мощности лазера непрерьшного действия при следующих условиях скорость сканирования 50 см/с, размер пятна 70 мкм, расстояние между линиями 20 мкм, температура подложки 500° С. В этом эксперименте не учитывалась зависимость размера кристаллита от концентрации и вида легирующей примеси. Резкое увеличение кристаллита при мощности лазера более 9 Вт является результатом плавления и рекристаллизации поликремния. Если размер кристаллита определять эмпирически, то для описания свойств поликремния, подвергнутого лазерному отжигу, следует использовать модели проводимости и сегрегации, рассмотренные выше. [c.237]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...