Применение пассивных экранов между испарителем и подложкой для улучшения равномерности толщины покрытий

Горизонтальный экран. Применение пассивных (т. е. полностью задерживающих все попадающие на них испаренные атомы) экранов — один из простых и эффективных способов улучшения равномерности толщины покрытий. Если между точечным или элементарным поверхностным испарителем и подложкой поместить экран и производить испарение в вакууме не ниже 10 Па, то на подложке получится четкое изображение экрана. Если же применить испаритель конечных размеров, то экран создаст на [c.283]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...