Сканирующий зондовый микроскоп в исследовании ДОЭ

Для получения информации о распределении рельефа поверхности в методах неразрушающего контроля, основанных на физической мезомеханике, в настоящее время разработаны и используются различные способы, в частности сканирующая зондо-вая [2] и оптическая [3] микроскопии. Сканирующая зондовая микроскопия подразделяется на сканирующую туннельную и атомно-силовую микроскопии. Диапазон высот рельефа, измеряемого данными методами, лежит в пределах нескольких микрон, а погрешность измерений составляет единицы ангстрем. Необходимым условием проведения исследований с использованием сканирующей туннельной микроскопии, в отличие от атомно-силовой, является наличие на поверхности исследуемого материала токопроводящего слоя. Главными недостатками представленных методов являются возможность получения информации о небольших участках поверхности (сотни мкм ), что в большей степени соответствует исследованиям процессов пластической деформации на микромасштабном уровне (уровне дефектов кристаллической решетки) [1], а также достаточно высокая стоимость. [c.29]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...