ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Сканирующий зондовый микроскоп в исследовании ДОЭ из "Методы компьютерной оптики Изд2 " Перечислим и кратко охарактеризуем контрольное оборудование и средства автоматизации, используемые при изготовлении ДОЭ. [c.290] Профиломет -профилограф. Предназначен для измерения в лабораторных условиях шероховатости и волнистости поверхности изделий, сечение которых в плоскости измерения представляет пряж-хую линию. Действие профилометра-профилографа основано на ощупывании неровностей исследз емой поверхности алмазной иглой датчика и преобразовании возникающих колебаний щупа в электрические сигналы, пропорциональные этим колебаниям. Используется для контроля качества микрорельефа оптических элементов среднего ИК-диапазона (см. рис. 4.24 или рис. 4.29), так как имеет невысокие точностные характеристики (по высоте 0,2 ь-1км-500 мкм). [c.290] Микроскоп контроля дефектов (МКД-Р) испо.т1ьзуется для визуального контроля дефектов фотошаблонов и поверхности подложек, а также микрорельефа ДОЭ. [c.290] Рефрактометр предназначен ддш измереиия показателя преломления, Jшнии спектра и средней дисперсии неагрессивных жидкостей и твердых тел. Точное определение показателя преломления п необходимо для правильного расчета высоты микрорельефа ДОЭ, работающего на пропускание. [c.291] Фотометр универсальный предназначен для измерения коэффициентов пропускания (или оптической плотности) твердых и жидких прозрачных (нерассеивающих) спектрально-жеизбирательных сред, для измерения ряда других параметров и используется для контроля характеристик полутоновых шаблонов при использовании ЖФПК. [c.291] Устройства контроля степени чистоты поверхности пластин [88-90. [c.291] Автоматизированные устройства контроля плоскостности пластин [91-92]. [c.291] Средства автоматизации испытаний ДОЭ. [c.291] ОКОЛО 10А к поверхности образца. Для его возникновения необходимо, чтобы образец и игла были проводниками либо полупроводниками. Туннельный ток усиливается в пред силителе, установленном на том же юстировочном столике, что и игла, и попадает в цепь обратной связи, а также после АЦП становится сигналом, который регистрируется программой обработки и построения изображений сканируемой поверхности. [c.293] Высокая точность и существенно меньшая цена по сравнению с электронными микроскопами (на несколько порядков), неразрушающий способ контроля позволяют классифицировать СЗМ как эффективное средство контроля при создании ДОЭ ближнего ИК, видимого диапазона и более коротких длин волн. [c.293] Вернуться к основной статье