Методы формирования кусочно-непрерывного микрорельефа

Методы формирования кусочно-непрерывного микрорельефа [c.268]

В настоящее время для формирования дифракщюнного микрорельефа апробировано и отлажено множество технологий с использованием самых разнообразных (физически, химически, механически) активных сред фокусируемых электронных и ионных пучков, газов, кислот, резистов, полимерных композиций, алмазных резцов. При этом различные технологии требуют создания различных шаблонов наборов бинарных масок для фотолитографии, полутоновых фотошаблонов для ЖФПК и отбеливания желатины, тонко-мембранной пленки для рентгеновской литографии или маски-трафарета для использования ионно-лучевой литографии. При использовании полутоновых шаблонов и соответствующих технологий формирование кусочжо-непрерывного Ешкрорельефа происходит в один этап (методы формирования кусочно-непрерывного рельефа рассмотрены в п. 4.4). При использовании набора бинарных шаблонов и соответствующих бинарно-активных сред для получения многоуровневого рельефа, процесс, показанный на рис. 4.3, приходится повторять несколько раз, перебирая по очереди все шаблоны из набора. Для ряда современных технологий (электронная литография, станки с ЧПУ) изготовления физически существующего шаблона (или набора шаблонов) не происходит в этих случаях формирование микрорельефа происходит на основе рассчитанного виртуального шаблона. [c.241]

Задача выбора типа микрорельефа определяется не только набором доступных разработчику технологий формирования дифракционного микрорельефа, но и требованиями к качеству работы и эффективности ДОЭ, предъявляемыми конкретной оптической схемой и функциональным назначением оптического элемента. Программные комплексы, созданные для проектирования ДОЭ, обязательно содержат средства, позволяЮ1Щ1е оценить снижение качества и энергетической эффективности работы ДОЭ при переходе от кусочно-непрерывного к многоуровневому или бинарному микрорельефу [3. Разрабатываются специальные физико-математичес-кие методы для повышения эффективности бинарных и многоуровневых ДОЭ [4 [c.239]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...