Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...

Статьи Чертежи Таблицы О сайте Реклама
Для достижения высоких пространственных частот (свыше 1000 мм ) при высотах рельефа порядка 0,1-0,3 мкм, используются сложные способы проявления, включая термодубление и обработку в растворе серной кислоты. Однако при высотах рельефа порядка нескольких микрон резко падает пространственное разрешение, и вследствие разной задублеиности, при изготовлении пластинок, максимально достижимая высота рельефа может отличаться в 2-3 раза.

ПОИСК



Методы формирования кусочно-непрерывного микрорельефа

из "Методы компьютерной оптики Изд2 "

Для достижения высоких пространственных частот (свыше 1000 мм ) при высотах рельефа порядка 0,1-0,3 мкм, используются сложные способы проявления, включая термодубление и обработку в растворе серной кислоты. Однако при высотах рельефа порядка нескольких микрон резко падает пространственное разрешение, и вследствие разной задублеиности, при изготовлении пластинок, максимально достижимая высота рельефа может отличаться в 2-3 раза. [c.269]
Еще недавно широко использовалась технология производства ДОЭ с использованием бихромированного желатина (БХЖ). На рис. 4.33а показан полутоновой фотошаблон фокусатора в букву тг и результат фокусировки излучения СО2-лазера [53]. Качество фокусировки (рис. 4.331 ) позволяет говорить, в принципе, о широких возможностях фокусаторов, изготовленных на основе БХЖ. Однако, относительно простая технология формирования микрорельефа на основе БХЖ не нашла широкого применения в производстве ДОЭ, главным образом из-за шероховатости поверхности микрорельефа, снижающего эффективность ДОЭ, и ограни-ченной разрешающей способности, не позволяющей выполнять элементы с хд-ютовой апертурой больше 0,1. [c.269]
Светорассеяние присуще всем технологиям, основанным, на вымывании полимерных материалов с различной степенью полимеризации шли. задубленности, что обусловлен интенсивным растворением материала в жщщом проявляющем растворе. Поэтому изготовление качественных элементов по данной технологии представляет определенную трудность. [c.270]


Вернуться к основной статье

© 2025 Mash-xxl.info Реклама на сайте