Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...

Статьи Чертежи Таблицы О сайте Реклама

Методы очистки вертикальная бестигельная

Вертикальная бестигельная зонная плавка обеспечивает очистку кристаллов кремния от примесей и возможность выращивания монокристаллов кремния с малым содержанием кислорода. В этом методе узкая расплавленная зона удерживается меаду твердыми частями слитка за счет сил поверхностного натяжения. Расплавление слитков осуществляется с помощью высокочастотного индуктора (рис. 8.13), работающего на частоте 5 МГц. Высокочастотный нагрев позволяет проводить процесс бестигельной зонной плавки в вакууме и в атмосс ре защитной среды.  [c.287]


Для суждения о ролп нримесей и границ зерен значительный интерес представляют результаты, полученные нри очистке молибдена. Для очистки этого металла от нримесей наиболее пригодным является метод вертикальной (бестигельной) зонной плавки с элек-тронно-лз чевым нагревом.  [c.521]

Зонную плавку применяют и для очистки кремния, но так как он реагирует с графитом, процесс осуществляют бестигельным методом в инертной среде, поддерживая вертикально расположенный слнток с помощью зажимов по концам. Узкая зона плавления удерживается силами поверхностного натяжения (рис. 13.7-, б). Помимо высокочастотного могут быть использованы и другие методы зонного нагревания.  [c.183]

Метод зонного рафинирования, разработанный первоначально для очистки веществ, помещенных в лодочку, с соответствующими изменениями, позволяющими избежать загрязнения материалом тигли, оказался эффективным для очистки компактного ниобия. Зона расплавленного металла, создаваемая индукционпы.ч или электронно-лучевым нагревом, перемещается вдоль вертикально закрепленного пиобиевого стержня (метод плавающей зоны ), благодаря чему на одном конце происходит сегрегация примесей, более растворимых в жидком металле. При бестигельной зонной плавке небольшого прутка (например, диаметром 10 мм) с применением одного из вышеупомииутых методов нагрева обычно сохраняется первоначальная форма образца, что указывает на действие сил поверхностного натяжения. Если же проводится бестигельная зонная плавка с поднимающейся зоной при индукционном нагреве, диаметр образца может быть намного больше, например 25 мм или более. В том случае, когда нагрев внезапно прекращается, расплавленный металл немедленно вытекает. Это служит доказательством, что гидростатическое давление расплавленного металла сдерживается поднимающим усилием, благодаря чему таким путем можно рафинировать образцы большего диаметра.  [c.439]


Смотреть страницы где упоминается термин Методы очистки вертикальная бестигельная : [c.216]    [c.256]    [c.439]   
Основы материаловедения и технологии полупроводников (2002) -- [ c.0 ]



ПОИСК



Метод очистки,



© 2025 Mash-xxl.info Реклама на сайте