Монокристалл кремния, имплантированный бором

Аналогичная серия экспериментов была выполнена на кремнии, имплантированном бором. Основные результаты, изложенные в [5.18], аналогичны уже описанным для кремния, имплантированного мышьяком. В частности, может быть достигнута 100 %-ная электрическая активность примесей без какого-либо диффузионного их перераспределения. Рекристаллизация также является полной, что подтверждается ПЭМ при разрешении вплоть до 20 A. Эти результаты не зависят от того, имплантировался ли бор в предварительно аморфизированный кремний или прямо в монокристалл. [c.172]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...