Автоэлектронная и автоионная микроскопия

Универсальный автоэлектронно-автоионный микроскоп. [c.74]

Получение образцов для автоэлектронной и автоионной микроскопии, а также для некоторых прикладных целей в виде углеродных волокон в виде конуса с радиусом закругления вершины 0,01 — 1 мкм является наиболее удобным и экономичным приемом. [c.65]

С 1960-х гг. начались исследования М. с. с применением сверхвысоковакуумной аппаратуры в условиях вакуумной гигиены, т. е. в хорошо контролируемых и поддерживаемых условиях. Появилась возможность дозированного изменения состава, темп-ры, зарядового состояния и др. параметров М. с. и прецизионного измерения этих величин, выяснена их связь с геом., в частности структурными, характеристиками поверхности. Наиб, удобны для исследования М. с. на чистых поверхностях полупроводников и др. монокристаллов, т, к. в таких М. с. наблюдаются анизотропные явления. Для изучения состава и структуры М. с. применяют зондирование поверхности электронными, нейтронными, ионными, молекулярными, рентг., световыми и позитронными пучками, автоионную, автоэлектронную, полевую и тепловую эмиссию частиц с исследуемых поверхностей, а также метод зондовой микроскопии. Большинство исследований должно проводиться в условиях сверхвысокого вакуума, что ограничивало возможности этих методов. Применение зондов-острий позволило снять эти ограничения. [c.209]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...