Сравнение с другими методами лазерной термометрии

Сравнение с другими методами лазерной термометрии [c.172]

В данной главе описан самый чувствительный метод измерения температуры прозрачных плоскопараллельных пластин. В настоящее время метод лазерной интерференционной термометрии (ЛИТ) применяется наиболее часто (по сравнению с любыми другими методами) для изучения процессов при взаимодействии плазмы с поверхностью, а также для контроля температуры полупроводниковых и диэлектрических подложек в микротехнологии. Метод ЛИТ объединяет качества, на первый взгляд кажущиеся взаимно исключающими очень высокую температурную чувствительность и широкий диапазон измеряемых температур. [c.131]

Энциклопедия по машиностроению XXL