Вакуумная Герметичность высоковакуумной аппаратуры

Системы вакуумные — Герметичность высоковакуумной аппаратуры 68 [c.270]

Герметичность высоковакуумной аппаратуры. Незначительные количества газов, способные проникнуть внутрь вакуумной камеры, могут резко изменить степень разрежения и сделать установку неработоспособной [2, 4, 5, 7, 10, 12, 14]. Чувствительность к проникновению в откачиваемый объем малейших количеств газов и отличает вакуумную аппаратуру от любой другой, в том числе и от аппаратуры высокого давления. [c.68]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...