Жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ) установки для выращивания

Был также описан [118, 119] метод жидкофазной эпитаксии, в котором раствор, использованный для выращивания слоя, выталкивается раствором для следующего слоя. Такая методика имеет следующие преимущества перед обычно используемыми поверхность выращенного слоя не выдерживается без контакта с расплавами, и здесь легче выращивать многослойные структуры при температурах ниже обычно используемых 750—820°С. Недостатком является образование областей переменного состава между слоями. Алферов и др. [119] использовали такую методику в сложной установке ЖФЭ и описали образование и контроль слоев переменного состава. [c.148]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...