Травление вакуумно-плазмённое

К преимуществам плазменного травления относят прежде всего более длительное, чем после других методов обработки, сохранение активности поверхности и способность рабочей среды во время травления проникать даже в узкие щели с раскрытием всего в несколько мкм [95]. Но оно имеет и недостатки, к важнейшим из которых относят высокую стоимость оборудования, ограниченность размеров деталей размерами рабочей камеры, неравномерность действия плазмы и невозможность непрерывного ведения процесса [96]. Некоторых недостатков плазменной обработки в вакуумной камере лишена обработка плазменным пистолетом [97]. Она особенно пригодна для улучшения адгезионных свойств поверхности фасонных деталей и профилей, в том числе в непрерывном процессе. [c.531]

В книге обсуждаются физические принципы, измерительные характеристики, особенности и ограничения различных методов активной термометрии твердого тела. Термочувствительным элементом в активной термометрии является сам исследуемый объект, а считывание информации о температуре объекта проводится с помощью зондирующего светового пучка (обычно лазерного). Появление новых методов бесконтактной термометрии существенно расширило возможности для исследований в области новых технологий (в частности, процессов при взаимодействии газоразрядной плазмы и пучков заряженных частиц с поверхностью). Исследовательские группы, в которых были разработаны новые методы, быстро получили информационные преимущества при изучении процессов на границе раздела плазма-поверхность, ранее недоступных для диагностики. Лазерная термометрия впервые сделала практически осуществимыми температурный мониторинг и контроль в вакуумных процессах микротехнологии (осаждение тонких пленок, травление микроструктур, ионная имплантация полупроводников и т. д.). К настоящему времени предложены и развиваются более десяти методов лазерной термометрии (ЛТ), хотя в исследованиях и технологическом контроле активно применяется пова лишь 4-5 методов. [c.5]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...