Излучение изотермических поверхностей нагрева

Электродуговые источники и электронные пучки можно использовать для отжига в двух режимах, а именно — изотермическом и режиме с теплоотводом. В изотермическом режиме температура отжига устанавливается во всем объеме подложки. В этом случае доминирующим механизмом тепловых потерь является излучение время, необходимое для достижения заданной температуры, обычно составляет 5 — 10 с. Преимуществом этого метода является малая необходимая мощность пучка. Однако в определенных случаях желательно бьютрее достичь температуры отжига или ограничить нагрев поверхностью пластины. Тогда следует воспользоваться режимом с теплоотводом, при котором на обратной стороне образца поддерживается заданная температура Го. В этих условиях основным механизмом тепловых потерь будет теплопроводность через подложку. [c.173]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...