Эпитаксия из газообразной фазы

В настоящей главе будут рассмотрены основы существующих представлений о первых стадиях зарождения и дальнейшем росте эпитаксиальных пленок из газообразных фаз, а также некоторые методы эпитаксиального наращивания тонких слоев полупроводников, включая и жидкостную эпитаксию. [c.323]

Эпитаксия из газообразной фазы [c.338]

Процессы, происходящие при выращивании эпитаксиальных пленок методом газовой эпитаксии с помощью химических реакций, по существу, уже обсуждались при описании выращивания монокристаллов из газовой фазы (см. гл. 6). Рассматривались два основных способа выращивания эпитаксиальных пленок из газовой фазы с помощью химических реакций 1) метод диссоциации и восстановления газообразных химических соединений и 2) метод газотранспортных реакций. [c.338]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...