Зависимость скорости окисления от толщины поликремния

Следует отметить, что модель хорошо согласуется с реальным процессом. Из результатов моделирования можно заключить, что окисление поликремниевого слоя не подчиняется ни линейному, ни параболическому законам, потому что скорость окисления зависит от концентрации легирующей примеси в поликремниевом слое, которая меняется в процессе окисления как результат перераспределения примеси. Эта модель помогает также объяснить и другие явления, наблюдаемые в структурах поликремний — объем-, НЫЙ кремний, например зависимость диффузионного профиля от скорости окисления и толщины поликремниевого слоя. В следующих разделах детально обсуждаются отдельные физические модели, при этом результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными. [c.229]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...