Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...

Статьи Чертежи Таблицы О сайте Реклама

Программа вычисления пробегов

Алгоритм Бирсака, описанный в 4.2.2, был реализован в программе DIMUS, позволяющей вычислять пробеги ионов и разбросы пробегов в мишенях любого химического состава. Для вычисления тормозной способности многокомпонентных мишеней мы использовали правило Брэгга, что оправдано, поскольку диапазон энергий, представляющий интерес для имплантации, находится значительно выше энергий химических связей атомов в мишенях. В программе DIMUS используются скорректированные значения тормозных способностей, особенно в области энергий ионов, лежащей за максимумом электронного торможения однако релятивистские поправки не учитываются (это соответствует значениям тормозной способности приблизительно до 10 МэВ/мм). Кроме того, как в ядерной, так и в электронной тормозной способности учитываются моменты энергетических потерь более высоких порядков.  [c.134]



Смотреть страницы где упоминается термин Программа вычисления пробегов : [c.109]    [c.110]   
Смотреть главы в:

МОП-СБИС моделирование элементов и технологических процессов  -> Программа вычисления пробегов



ПОИСК



Пробег

Программа



© 2025 Mash-xxl.info Реклама на сайте