Методы получения гидрогенизированного аморфного кремния

Распространенным методом получения пленок гидрогенизированного аморфного кремния является высокочастотное ионно-плазменное распыление кремния в атмосфере арюнно-водородной плазмы, которое также широко используется в производстве полупроводниковых приборов и микросхем для нанесения пленок других материалов. [c.16]

Существуют также другие методы получения гидрогенизирован-ного аморфного кремния (аморфизации кристаллического кремния, постгидрогенизации аморфного кремния, первоначально не содержащего водорода), которые не нашли широкого применения. [c.17]

Подтверждением роли водорода в формировании свойств пленок аморфного кремния является то, что их получение возможно не только разложением силана, но и другими методами, обеспечивающими присутствие водорода. Аморфный кремний, содержащий водород, называют гидрогенизированным. [c.14]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...