Подложки из кварца с тонкими пьезоэлектрическими

Поскольку подложка влияет на распространение ПАВ, она должна быть изготовлена из материала, обладающего долговременной стабильностью, небольшим коэффициентом теплового расширения и малой температурной зависимостью скорости распространения ПАВ. К таким материалам относятся сапфир, плавленый кварц, кремний и боросиликатное стекло. В соответствии с используемым тонким пьезоэлектрическим слоем пластина должна быть соответствующим образом ориентирована. [c.530]

Энциклопедия по машиностроению XXL