Частичное упорядочение мер на множестве наблюдаемых

Полученная свежеосажденная пленка состоит из множества гранул, в каждой из которых, как в кристаллите, наблюдается определенный порядок в расположении атомов, но общей кристаллической решетки нет. Благодаря миграции атомов вдоль плоскости подложки достигается упорядочение структуры, снижаются значительные внутренние механические напряжения. Миграция облегчается при прогреве пленки, поэтому во время напыления и некоторое время после напыления подложку подогревают, но до температуры ниже критической. При прогреве происходит частичное удаление случайно захваченных атомов газа. [c.49]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...