ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Метод распыления из "Аморфные металлы " Эти нейтральные атомы внедряются в твердое тело электрода, выталкивая атомы с его поверхности. [c.32] Известно несколько разновидностей метода распыления простой двухэлектродный (рис. 2.3), трех- или четырехэлектродный, магнетронный, высокочастотный, распыление со смещ ением , асимметричное распыление на переменном токе и ряд других (табл. 2.2). Методы, в которых используются смеси химически активных газов, применяются для производства пленок химических соединений (оксидов, нитридов и т. п.). [c.33] Условия распыления и его характеристики различаются для разных методов, поэтому необходимо правильно выбирать метод в зависимости от требуемых свойств получаемых пленок. [c.33] Обозначения С — катод S — подложка Т—мишеиь G — сетка А — анод ОС — постоянный ток — переменный ток М — контрольный измерительный прибор. [c.35] Скорость осаждения при использовании метода распыления обычно составляет - 0,1 мкм/ми Н, т. е. на порядок выше, чем в методе напыления . [c.35] В целях повышения производительности или получения толстых пленок разрабатывается аппаратура, позволяющая достигать еще больших скоростей. [c.35] ИМ отрицательный потенциал. Ионизация газа и образование плазмы происходит за счет эмиссии электронов тепловым катодом, т. е. за счет тепловых электронов. Дополнительно вводится стабилизирующий электрод, поэтому данный метод является четырех-, а не трехэлектродным. Вакуум поддерживается в пределах 0,1 Па, поэтому количество газа в получаемой пленке малО. Метод обеспечивает достаточно высокую скорость распыления. Однако при этом ельзя избежать нагрева подложки, а охлаждать ее довольно трудно. Этого удается избежать в методе магнетрона, где благодаря матетронному разряду в перпендикулярных электрическом и магнитном полях достигаются значительные скорости распыления при малом нагреве подложки. [c.36] Аппаратура для распыления позволяет реализовать большее число условий контроля, чем в случае метода напыления. Эти условия должны быть предварительно детально исследованы, так как они определяют в конечном итоге качество получаемой пленки. [c.36] Вернуться к основной статье