ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Способы создания электронно-дырочных переходов силовых полупроводниковых приборов из "Кремниевые вентили " наконец, при разработке вентилей тина ВКЗ й тиристоров типа ВКУ применяется диффузионно-сплавной способ получения р-л-переходов. [c.128] Рассмотрим кратко технологические процессы создания электронно-дырочных переходов. [c.128] В качестве исходного материала используется люно-кристаллическпй кремний электронного типа проводимости с удельным сопротивлением 80—120 ом-см и временем жизни неосновных носителей зарядов около 150 мксек. [c.129] После ультразвуковой мойки производится травление дисков, которое выполняется в условиях вакуумной технологической чистоты. Травление заканчивается промывкой дисков денонизованной водой с удельным сопротивлением не менее 6—8 Мом-см. [c.129] После обработки элементы перехода собирают в снещ1алыюй кассете, выполненной из графита. На дно кассеты закладывается посеребренный вольфрамовый диск, затем диск из сплава серебра, свинца и сурьмы. Далее закладывается кремниевый диск, после чего устанавливается ограничивающая графитовая втулка, в которую вставляют диск из сплава алюминия с кремнием. Сверху устанавливают никелированный с одной стороны вольфрамовый диск. Кассету помещают в печь. [c.129] После нарезки шайбы пз монокристаллического кремния подвергаются шлифовке и промывке в дистиллированной и деионизованной воде. [c.130] Иа одну нз плоскостей очищенной от примесей кремниевой шайбы электроиного тина проводимости наносится слой раствора азотнокислого алюминия и борной кислоты в спирте. Затем диски закладываются в кварцевый стакан, который помещается в печь, где диффузионный процесс протекает 10 ч при температуре 1 300° С. В результате происходит диффузия алюминия и бора в кремниевый диск на глубину ПО—120 мкм, чем создастся слой кремния с проводимостью дырочного типа. Примесь бора применяется для повышения поверхностной концентрации. После окончания диффузии и остывания диска один из / -слоев удаляется шлифовкой. Затем следует цикл травлений, трехкратной никелировки и отжига кремниевого диска при различных технологических условиях. [c.130] Для травления применяется плавиковая кислота и кипящий щелочной раствор. Промывка производится в горячей деионизованной воде. Вжигание никеля ведется при первом цикле на воздухе, затем в вакууме (10 мм рт. ст.) и опять иа воздухе, каждый раз при различных температурах (1 240, 800 и 220° С). [c.130] Пластины кремния необходимой толщины подвергают диффузии галлия или алюмиштя, которая проводится в течение 8—10 ч прн температуре 1 300 5°С. Затем с одной стороны пластины сошлифовываются и производится вырезка дисков определенного диаметра. Таким образом получается диффузионный /з- -переход. [c.131] Так же как и при сплавном способе, у диффузионно-сплавных вентилей для сплавления применяются твердые сплавы алюминий и серебро. [c.131] Для защиты от поверхностного пробоя фаска оксидируется. [c.131] Вернуться к основной статье