Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...

Статьи Чертежи Таблицы О сайте Реклама

[<< Стр.]    [Стр. >>]

Иа одну нз плоскостей очищенной от примесей кремниевой шайбы электроиного тина проводимости наносится слой раствора азотнокислого алюминия и борной кислоты в спирте. Затем диски закладываются в кварцевый стакан, который помещается в печь, где диффузионный процесс протекает 10 ч при температуре 1 300° С. В результате происходит диффузия алюминия и бора в кремниевый диск на глубину ПО—120 мкм, чем создастся слой кремния с проводимостью дырочного типа. Примесь бора применяется для повышения поверхностной концентрации. После окончания диффузии и остывания диска один из /;-слоев удаляется шлифовкой. Затем следует цикл травлений, трехкратной никелировки и отжига кремниевого диска при различных технологических условиях.

[<< Стр.]    [Стр. >>]

ПОИСК



Иа одну нз плоскостей очищенной от примесей кремниевой шайбы электроиного тина проводимости наносится слой раствора азотнокислого алюминия и борной кислоты в спирте. Затем диски закладываются в кварцевый стакан, который помещается в печь, где диффузионный процесс протекает 10 ч при температуре 1 300° С. В результате происходит диффузия алюминия и бора в кремниевый диск на глубину ПО—120 мкм, чем создастся слой кремния с проводимостью дырочного типа. Примесь бора применяется для повышения поверхностной концентрации. После окончания диффузии и остывания диска один из /;-слоев удаляется шлифовкой. Затем следует цикл травлений, трехкратной никелировки и отжига кремниевого диска при различных технологических условиях.

[Выходные данные]

© 2025 Mash-xxl.info Реклама на сайте