ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Отжиг радиационных нарушений из "Влияние облучения на материалы и элементы электронных схем " Механизм радиационного отжига очень сложен и окончательно еще не ясен. В большинстве случаев нельзя даже считать, что в процессе отжига происходит рекомбинация части пар, а остальные пары переходят в более стабильное состояние. В качестве вероятного механизма радиационного отжига рассматривалась также возможность группировки вакансий (кластеры) с образованием больших пустот. Как правило, при повышенных температурах все радиационные нарушения исчезают. [c.281] Вернуться к основной статье