ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Отражательный электронный микроскоп из "Металлография железа 1 " С точки зрения оптики электроны, ударяющиеся о поверхность объекта, не отражаются, а рассеиваются. Формирование изображения с помощью рассеянных электронов связано с двумя основными трудностями. Во-первых, рассеянные электроны не являются монохроматическими, поэтому разрешение ограничено из-за хроматической аберрации объектива. Во-вторых, электроны рассеиваются во всех направлениях, поэтому в объектив попадает лишь некоторая их часть. Яркость изображения получается низкой, особенно когда уменьшают апертуру для улучшени разрешения. [c.19] Эти углы выбирают такими, чтобы можно было получить максимальное рассеяние в направлении объектива и уменьшить разброс в скоростях электронов с целью увеличить разрешение. [c.19] Угол зрения 02=7 90 , что значительно искажает изображение. Однако, установив после проекционной линзы асимметричную систему, можно получить коррекцию такую, какую дает объектив киноаппарата. Тем самым искажение значительно уменьшается. [c.19] Основным недостатком отражательного электронного микроскопа остается низкая интенсивность изображения. В то же время этот прибор имеет следующие преимущества по сравнению с оптическим микроскопом чувствительность его к рельефу аналогична чувствительности к рельефу интерференционного и фазоконтрастного методов предел поперечного разрешения в 10 раз лучше, чем у оптического микроскопа. [c.19] Вернуться к основной статье