ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Вакуумные свойства из "Металлокерамические вакуумноплотные конструкции " Вакуумные свойства высокотемперату р и ы х окислов и керамических материалов на их основе определяются свойствами основного компонента, входящего в керамический материал, а также технологическим процессом изготовления керамического материала. [c.32] В связи с тем, что определения газовыделе-ния, газопроницаемости и скорости испарения сопряжены со значительными трудностями, в литературе зачастую встречаются довольно разноречивые сведения, цри этом расхождение данных иногда достигает 2— 3 порядков. [c.32] Газовыделение и газопроницаемость керамики. Основными источниками газовыделения из керамических деталей, используемых в металлокерамических узлах, являются диссоциация окислов и десорбция газов, поглощенных при изготовлении узлов. [c.32] Диссоциация окислов керамики происходит в результате действия высоких температур, а также от бомбардировки ее поверхности электронами с высокой энергией. [c.32] Диссоциация окислов под воздействием электронной бомбардировки может иметь место в тех случаях, когда по условиям эксплуатации поверхность керамики не защищена от прямого попадания электронов с высокой энергией. Наиболее часто подобное явление наблюдается в электронных лампах и особенно в выводах энергии мощных СВЧ приборов, где диссоциация окислов может происходить также из-за возникновения вторично-электронного резонанса. В связи с трудностью проведения соответствующих количественных оценок не имеется экспериментальных данных по величине газовыделения в зависимости ог интенсивности бомбардировки электронами, но при эксплуатации металлокерамических узлов необходимо учитывать возможность возникновения подобного процесса. С целью ликвидации диссоциации окислов в результате попадания электронов необходимо использовать различные экранирующие устройства, предотвращающие прямую бомбардировку керамики электронами с высокой энергией. [c.33] Газовыделение, определяемое процессами десорбции газов, поглощенных при изготовлении керамических деталей и металлокерамических узлов, изучено более полно [Л. 35, 36]. В [Л. 36] отмечается, что газовыделение керамических материалов в основном зависит от состояния поверхности и газонасыщенности приповерхностных (в пределах до 20 мкм) слоев керамики. [c.33] Учитывая, что величина газовыделения для керамических материалов составляет 0,7—5,2 Мн/м [0,5— 4,0 мкм рт. ст. л/смЦ [Л. 36], общее газовыделение в металлокерамических конструкциях будет зависеть от площади керамики, обращенной в вакуумную полость. [c.33] Давление пара и скорость испарения. В настоящее время отсутствуют какие-либо сведения по давлению паров и скорости испарения для промышленных марок керамических материалов. Поэтому судить о их поведении при повышенных температурах можно только по данным для соответствующих чистых окислов. [c.35] Скорости испарения и давления паров для АЬОз, М 0 и ВеО в зависимости от температуры [Л. 28] даны в табл. [c.35] Вернуться к основной статье