ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Изготовление ДОЭ методами фотолитографии из "Методы компьютерной оптики Изд2 " Литографией называется процесс воспроизведения конфигурации и взаимного расположения элементов изделия на подложке (субстрате, основании) путем формирования на ее поверхности защитного рельефного покрытия и послед тещего переноса рельефа в подложку. В зависимости от вида облучения литографию делят на фото-, электронно-, рентгене- и ионолитографию [14-16]. [c.243] Из существующих технологий для изготовления ступенчатого микрорельефа ДОЭ наибольшее распространение получила фотолитография. Ключевым этапом формирования микрорельефа ДОЭ средствами фотолитографии является получение набора прецизионных фотошаблонов. [c.243] Вернуться к основной статье