ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Разложение потенциалов и полей в ряды из "Электронная и ионная оптика " Рассмотрим сначала произвольный электростатический или магнитный скалярный потенциал (R) как функцию пространственных координат. Для дальнейшего рассмотрения удобно представить и в виде ряда. [c.65] Эти степенные ряды имеют несколько странную форму. Зачем нам нужна сумма (rn- -i) в качестве степеней г Ниже будет ясно, что этот выбор приводит к относительно простой форме решения. [c.66] Другими словами, если известно аксиальное распределение и (г) вращательно-симметричного электростатического или магнитного поля и это распределение является бесконечно дифференцируемой функцией, то можно определить поле во всем пространстве с помощью разложения в степенной ряд (3.20). Единственно, что для этого необходимо знать — аксиальное распределение потенциала. Это очень важный момент, и мы еще не раз к нему вернемся. Детальное обсуждение будет проведено в разд. 9.8. [c.68] Это общее выражение для произвольного распределения потенциала в декартовой системе координат. Оно по-прежнему зависит от От и Wm, являющихся функциями координаты г. Выведенное соотношение весьма громоздко, но его можно упростить при наличии какой-либо симметрии. [c.69] Существует бесконечное разнообразие различных сочетаний типов симметрий. Соотношения (3.19) и (3.27) включают все возможные случаи. Например, электронная или ионная оптическая колонна, используемая для микротехнологии ИС, может состоять из электростатических и (или) магнитных аксиальносимметричных и мультипольных линз, дефлекторов, бланкирую-щей системы, масс-анализатора и т. п. Кроме того, необходимо принять во внимание возможные отклонения от симметрии, вызванные разъюстировкой и дефектами сборки. Таким образом, если мы хотим рассмотреть всю колонну в целом или только совокупность аксиально-симметричных линз и двух взаимно перпендикулярных отклоняющих полей, необходимо начать с полученных общих выражений. Ниже будет видно, как наличие различных типов симметрии приводит к существенному упрощению этих соотношений. [c.69] Вернуться к основной статье