ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Катоды из чистых металлов из "Технология электровакуумного производства Часть 1 " Чистые металлы, которые практически могут быть использованы для катодов, характеризуются большим значением работы выхода и требуют высоких температур для получения более или менее удовлетворительных показателей по отбору тока эмиссии. [c.296] В связи с этим для изготовления катодов указанной группы применяются исключительно тугоплавкие металлы— вольфрам марок ВА-3 и ВА-5, молибден МЧ и тантал ТЧ или ТН-3 (табл. 6-3, 6-4, 6-5). [c.296] Необходимо отметить, что вольфрамовые катоды вытесняются более экономичными пленочными катодами из торированного вольфрама, обладающими лучшими эмиссионными свойствами, применение которых длительное время ограничивалось их хрупкостью, устраняемой в настоящее время благодаря усовершенствованию процесса карбидизации. [c.296] Катоды из вольфрама марок ВА-3 и ВА-5 по конструкции и технологии их изготовления в заготовительных цехах не отличаются от рассмотренных выше катодов из торированного вольфрама ( 6-4). [c.296] Применяемые в магнетронах непрерывного генерирования вольфрамовые катоды (рис. 6-2,е) имеют форму спиралей, навивка которых производится на молибденовых оправках, закрепляемых в соответствующих приспособлениях токарных станков. [c.296] Навиваемая проволока зажимается на одном из концов оправки и при вращении размещается в углублениях, нарезанных точно в соответствии с формой и размерами спиралей. По окончании навивки на оправке закрепляется второй конец спирали. [c.296] Изготовленные спирали очищаются от окислов электрохимическим травлением в хромовой смеси (150 г/л СгОз и 3—4 см Н2504), промываются в проточной водопроводной и дистиллированной воде и после сушки вторично отжигаются для очистки от окислов и обезгаживания в увлажненном водороде (1 500° С, 40 мин) очищенные спирали направляются на монтаж. Иногда такие спирали покрываются тонким слоем рения, который повышает эмиссионные свойства и срок службы катодов вследствие его очень малой скорости испарения. [c.297] В некоторых типах мощных магнетронов непрерывного генерирования получил применение подогревный катод из чистого тантала (рис. 6-2,г). Катод представляет собой танталовый цилиндр с центральным отверстием для размещения подогревателя и рядом выточек и отверстий на его наружной поверхности, необходимых для обеспечения соответствующего теплоотвода с различных участков. [c.297] При изготовлении катодов такого типа должны быть выполнены высокие требования к точности основных геометрических размеров (2 класс точности)- и чистоте обработки (не менее 6 класса), а также соосности различных ступеней цилиндра с центральным отверстием (эксцентриситет 0,02 мм). [c.297] При изготовлении катода используется способ получения точных отверстий в цилиндрах и строго соосных с ними участков наружной поверхности, аналогичный тому, который применяется при обработке молибденовых кернов оксидных катодов импульсных магнетронов ( 6-2). В нарезанных из танталовых прутков и обточенных начерно заготовках сверлится и обрабатывается развертками центральное отверстие, которое используется как база для последующей чистовой токарной обработки отдельных участков наружной поверхности. [c.297] В изготовленном таким образом цилиндре сверлятся отверстия с шагом 60° ( 1,0°) с применением в качестве приспособления кондукторов. [c.297] Обработка завершается зачисткой заусенцев, обезжириванием и отжигом катода в вакууме 10 мм рт. ст. при 1 800° С в течение 4— 5 мин. [c.297] Вернуться к основной статье