ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Направление фазового сдвига из "Лазерная термометрия твердых тел " При обработке кристаллов в плазме возможно немонотонное изменение температуры в случае, когда производится осаждение пленок на подложку. Процесс длится десятки минут, при этом может колебаться температура нагревателя, встроенного в держатель подложки. Если же в плазме проводят травление микроструктур, вероятность немонотонного изменения температуры во времени невелика травление длится примерно 2 мин и заканчивается обычно раньше, чем достигается стационарная температура. Исключением здесь является случай, когда реакция травления верхнего слоя является экзотермической и характеризуется большой теплотой реакции, а нижний слой травится с низкой скоростью и с малым тепловыделением. После того, как заканчивается интенсивное тепловыделение при травлении верхнего слоя, может происходить уменьшение температуры кристалла при включенном разряде. [c.153] Предлагаемый [6.35, 6.36] визуальный анализ интерферограмм (с целью выявления аномалий, связанных с обраш,ением фазы) весьма трудоемок и едва ли поддается формализации в виде алгоритма распознавания для компьютера. К настояш,ему времени разработано несколько способов, позволяюш,их следить за направлением сдвига фазы. [c.153] Модуляция длины волны. Наиболее универсальным методом является модуляция длины волны зондирования, осуш,ествляемая за счет нагревания резонатора полупроводникового лазера в течении импульса излучения (перестройка происходит на 1-ЬЗ см при изменении температуры лазерного кристалла на несколько градусов). Метод модуляции Л реализован в работах [6.37-6.39]. Интерферограмма состоит из множества отдельных импульсов длительностью 20 мс (при частоте посылок 2 Гц), форма которых при нагревании и остывании отчетливо различается, а распознавание осуш,ествляется компьтером [6.22]. [c.153] Биения интерферограммы. Возможным решением вопроса о направлении сдвига фазы при термометрии прозрачных пластин является способ, состоящий в облучении пластинки пучком на двух близких длинах волн. При этом возникают биения интерферограммы, т.е. низкочастотная модуляция интенсивности отраженного и проходящего света, которая уменьшает вероятность пропустить момент обращения фазы. [c.156] При облучении на двух близких длинах волн (Ai Ri А2) отличие Ав, полученное с учетом и без учета отличий между ni и П2, а также между dni/de и дп2/дв, практически незаметно. [c.157] Для использования биений в качестве меток, указывающих направление сдвига фазы, мощность добавочной линии генерации можно ослабить, чтобы глубина модуляции интерферограммы была меньше, чем на рис. 6.19. В случае кремния амплитуда биений при использовании тех же линий незначительна (хотя надежно различима) при 300 К и равна нулю при Т 400 К из-за поглощения линии 1,08 мкм. Для кристалла Si толщиной 1 мм при облучении на длинах волн 1,15 и 1,08 мкм получаем (A0)mod 30 °С. [c.158] Вернуться к основной статье